高汉超
费勉仪器科技（南京）有限公司，执行总经理

讲师简介 / Speaker Bio

高汉超博士，2009年毕业于中国科学院物理研究所，现任费勉仪器科技（南京）有限公司执行副总经理，高级外延专家，主持过多项国家课题，主编行军标1项,国军标1项。主要研究领域为IIIV族分子束外延、半导体设备激光器腔面处理设备和工艺开发。

摘要 / Abstract

化合物半导体激光器受界面氧化、腔面光学灾变损伤（COMD）制约，直接限制器件输出功率与工作寿命，真空解理与原子氢清洗是构筑原子级高质量界面的核心工艺。费勉仪器开发的超高真空解理镀膜及原子氢清洗设备，搭载自研高通量射频等离子源，可实现真空原位解理、低温原子氢脱氧与钝化膜沉积，有效抑制腔面光学灾变损伤，保障激光巴条高功率工况稳定输出、延长器件寿命，可满足大功率激光器研发及量产需求，相关性能已在客户端得到工艺验证。