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Tao YANG 杨涛 Department Manager of New Eastech Technology Co.,Ltd. 研发经理，新毅东科技股份有限公司 |
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讲师简介 / Speaker Bio 杨涛，现任新毅东科技股份有限公司芯传科子公司研发经理。2018 年加入公司，推进 国产自研涂胶显影机的设备开发。拥有逾十年半导体制造经验，专攻研发与设备设计，参与数十项关键工艺项目。深耕涂胶显影设备七年，主导三代设备全周期开发。精通需求至量产全流程，致力于通过技术创新提升设备稳定性与工艺窗口，推动先进制程突破。 摘要 / Abstract BNE自研的涂胶显影设备，深度集成了AI视觉检测算法，在工艺进行中监测关键参数，并进行智能判级。该技术将涂胶显影工艺中的“事后抽检”转变为“全程感知”，形成从精准执行、实时诊断到数据优化决策的智能检测机制。 |
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