Sun Lifei 孙丽妃 博士
Equipment Intelligence Specialist & Project Manager
设备智能专家及项目经理, 泛林集团

讲师简介 / Speaker Bio

孙丽妃博士，2013年至2018年在清华大学化学系从事二维过渡金属硫族化合物及其电子器件的稳定性研究，并获得物理化学博士学位。于2018年7月加入泛林集团服务至今，从事刻蚀工艺研发、设备智能应用和虚拟仿真相关工作，在国际期刊、会议发表学术论文20余篇。在2024年和2025年，两次获得CSTIC “最佳年轻工程师论文奖”。目前， 孙丽妃博士担任泛林集团设备智能专家及项目经理。

摘要 / Abstract

随着人工智能、机器学习和机器人技术等先进技术的快速发展，制造业正加速向智能化和数字化升级。作为全球领先的半导体设备供应商，泛林集团早已在智能化技术和解决方案的深耕布局。持续推进具有自我感知、自我维护、自我适应和自我工艺开发能力的设备智能 (Equipment Intelligence® ) 的发展，使其成为驱动设备实时决策与自适应控制的关键力量。

本次演讲将重点介绍泛林集团的一体化 Equipment Intelligence® 技术能力，阐述嵌入式模型、先进传感和数据驱动算法如何协同工作，加速制程开发、提升设备健康度，并改善整体生产力表现。同时，我们也将介绍全新的智能功能模块，展示它们如何作为Equipment Intelligence®的核心组成部分，共同开拓通往未来智能制造的发展道路。通过设备级洞察驱动工厂级优化的深度协同，Equipment Intelligence® 正在塑造更自主、高效、可扩展的新一代半导体制造范式。