马兴刚
梅特勒托利多过程分析部门总经理

演讲摘要

在半导体制造中，超纯水和化学品的品质，将影响产品的良率和可靠性。随着工艺要求的提高和智能制造的推进，在进行必要的实验室取样分析以外，在关键的工艺点对水质、化学品的pH, 浓度，微生物含量等实时监测也逐渐成为一种常规手段，对异常和趋势进行快速响应的同时也节省了人力，提高了生产安全性。更有先进制造的企业结合数据管理，对良率进行预测和有效管理。梅特勒托利多提供多种参数实时检测分析方案，并具有特色的ISM智能传感器管理系统和多种通讯协议，为半导体良率提升，智能制造的推进提供强有力的助力。