Weijiang ZHAO 赵维江
VGM of Nissin Ion Equipment (Shanghai) Co., Ltd.
副总经理，日亚意旺机械（上海）有限公司

讲师简介 / Speaker Bio

1989/6东南大学电子工程系毕业，1989至 1999 北京真空电子技术研究所工程师。1999至2003 日本东海大学，日本大阪大学硕士毕业。2003至2025/8日本Nissin Ion Equipment Co., Ltd.从事离子注入机开发工作。2025/8至今，任Nissin Ion Equipment 上海分公司副总经理。主管技术工作。

摘要 / Abstract

本演讲介绍了Nissin Ion Equipment 的最新型离子注入机IMPHEAT-II（FTS），它是适合大批量工业生产碳化硅（SiC）电力电子器件的一种离子注入机。尤其是它的离子源可以产生大量的铝离子，并且彻底解决了离子源部放电问题。