Shen Lu 芦深
R&D Engineer of ULVAC Suzhou
爱发科(苏州)技术研究开发有限公司，研发工程师

个人简介 / Biography

硕士，毕业于东京理科大学。现任职于爱发科(苏州)技术研究开发有限公司，致力于为爱发科集团提供中国半导体市场所需要的新兴工艺研究开发及本土化服务。主要负责第三代半导体功率器件、硅基IGBT、可视及红外光电器件、光学滤光片等制造用离子注入及溅射相关设备与工艺的技术开发工作。